製造・検査装置

Optipro社製品 3次元非接触測定装置 – UltraSurf 4x/5x

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Optipro社製品 3次元非接触測定装置 – UltraSurf 4x/5x

メーカー情報
optipro
メーカーサイト
Optipro社製品 3次元非接触測定装置 – UltraSurf 4x/5x
SpecificationsUltraSurf 4X 300UltraSurf 5X 300
Travels
X – Axis Travel
Y – Axis Travel
Z – Axis Travel
B – Axis Travel
C – Axis Travel

300mm
200mm

360° Continuous
360° Continuous

300mm
200mm
200mm
360° Continuous
360° Continuous
Resolution
Linear
Rotary

5 nm
0.05 arc-sec

5 nm
0.05 arc-sec
Max. Velocity
Linear
Rotary

20 mm/s
100rpm

20 mm/s
100rpm
Facility Requirements
Electrical
Air Supply

480V +/- 5%, 21A
100PSI, 5 CFM clean dry air

480V +/- 5%, 29A
100PSI, 5CFM clean dry air

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