LSE-8000 [LEED Corporation（韓国）]
特徴
- 革新的なマルチへリコンソース（韓国NEXSO社製）搭載
- パーティクル・残留物フリー高排気効率プロセスチャンバー
- 長期ランニング、クリーニング後のリカバリ時間の短縮
- 難エッチング材料ハイレートエッチング
概要
韓国LEED Corporation社（旧社名：NEXSO）が開発したマルチ へリコン プラズマソース（特許取得）を搭載し、反応性に乏しい強誘電体材料(PZT, SBT)や、金属電極材料(Pt,Ir)のエッチングを低圧・高密度プラズマを発生させ、プロセスの安定性・再現性を実現。ウェハ搬送系の組み合わせにより、研究開発から量産用途まで同一のプロセスモジュールの使用が可能で、増設、アップグレードに対応します。
システム構成例
| エッチングデーター | |
|---|---|
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| Pｔ 2000Å厚 PRマスク | PZT 2000Å厚 TiNマスク |
| 形状 ：＞60度、残留物・フェンスフリー | 形状 ：＞80度、残留物フリー |
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| SBT2000Å厚 Oxideマスク | Cr3000Å厚 PRマスク |
| 形状 ： ＞80度 | 形状 ： 89度、残留物・フェンスフリー |
| 製品仕様 | |
|---|---|
| ウェハサイズ | 4”, 5”, 6”, 8” |
| アプリケーション | Pt / Ir / Ru BST / PZT / SBT Al/Ti/TiN Cr |
| 処理方式 基板ホルダー プラズマソース プロセス室 排気系 MTTR、MTBF |
枚葉処理 静電チャック 常温（標準）、加熱式（オプション） マルチヘリコンソース 大排気量ターボ分子ポンプ&ドライポンプ ロードロック室・トランスファー室 独立排気系 MTTR＜1H 、MTBF＞168H(RF on) |
| エッチングレート | Pt ： ≤3000Å/min PZT ： ≤3000Å/min Cr ： ≤1000 Å/min Al ： ≤7000 Å/mi |
