クラスターツール [LEED Corporation（韓国）]
概要
一層の多様化と複雑さが進む半導体メーカー各社のプロセス条件を満たしたプロセスモジュールの開発は発展し続けています。量産工場において製品の安定製造、信頼性向上は留まるものではありません。韓国半導体量産工場ーでの実績で築き上げた技術を基に世界の半導体工場へソリューションをご提案します。
システム構成例
- コンパクトな標準スタンドアローンシステム
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プロセスモジュールをそのまま量産クラスターにインテグレート！
開発時のプロセスの再現が容易に行えます。 - クラスター対応量産化システム
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- 省スペース化
- 4プロセスモジュール対応（おぷ７面対応）
- 2カセットステーション（ローダー/アンローダー）
- フレキシビリティあるクラスターソフトウェア
- PC制御による構成。装置前面及びプロセス室から操作が可能。レシピの編集、プロセスログ保存、データロギング機能
- SECS/GEMコミュニケーション
- オプション（ウェハアライナー、アッシング装置、プロセスチャンバー）
Software Architecture
SEMI準拠
- E5-0200A : SECS -II
- E15.1-0200A : 300mm Tool Loadport
- SEMI E5-0301 : Generic Equipment Model(GEM)
- E37-0298 : High Speed SECS Message Service(HSMS)
- E39-0967 : Object service Standard(OSS)
- SEMI E40-0301 : Process Job Management(Standard for Processing Management)
- E84-0200A : Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface
- SEMI E87-0301 : Provisional Specification for Carrier Management(CMS)
- SEMI E90-0301 : Specification for Substrate Tracking(STS)
- SEMI E94-1000 : Provisional Specification for Control Job Management(CJM)
- E99-0200A : Carrier ID Reader/Writer Function Standard
