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SOIウェハ [Simgui社（中国）]
SIMOX式SOI
- 4,5,6,8インチ対応
- 独自のSLD方式採用
- Si層、BOX層の均一性が良好
- 高品質
- 低価格
- 中国製
| 製品仕様 |
| 製品名 | Simgui@HD | Simgui@150 | Simgui@SLD |
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| SOI層の厚み(nm) | 190 | 190 | 20-100 |
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| SOI層の均一性(nm) | ±/5.0 | ±5.0 | ±3.0 |
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| BOX層の厚み(nm) | 375 | 150 | 145 |
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| BOX層の厚みの均一性(nm) | ±5.0 | ±5.0 | ±2.5 |
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| 表面パーティクル(/cm²@0.3μm) | ＜0.5 | ＜0.5 | ＜0.1 |
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| ＨＦ欠陥密度(/cm²) | ＜0.5 | ＜0.1 | ＜0.1 |
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| BOXピンホール密度(/cm²) | ＜0.1 | ＜0.1 | ＜0.1 |
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| BOX誘電体ブレイクダウン(MV/cm) | ＞6.0 | ＞6.0 | ＞7.0 |
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| 表面金属(TXRF)(.atom/cm²) | ＜5E10 | ＜3E10 | ＜3E10 |
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| 表面の粗さ(Å) | ＜10 | ＜5 | ＜5 |
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| 穴、シリコン剥がれ | NA | NA | NA |
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| EDGE EXCLUSION(mm) | 3 | 3 | 3 |
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貼り合わせ式SOI
- 4, 6インチ対応
- 高品質
- 低価格
- 中国製
- 顧客ニーズへのフレキシブルな対応
| 製品仕様 |
| 製品名 | Bonded SOI | Simbond |
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| SOI層の厚み | ＞1.5μm | ＞30nm |
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| SOI層の均一性(μm) | ±0.5(±1.0) | ±5%(±2.5%) |
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| Growth method | CZ/FZ | CZ/FZ |
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| BOX層の厚み(μm) | 0.05-5.0 | 0.05-5.0 |
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| BOX層の厚みの均一性(μm) | ±2%(±5%) | ±2%(±5%) |
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| 表面パーティクル(/cm2@0.3μm) | ＜0.5 | ＜0.5 |
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| ＨＦ欠陥密度(/cm2) | ＜0.1 | ＜0.1 |
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| BOXピンホール密度 | ＜0.1 | ＜0.1 |
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| BOX誘電体ブレイクダウン(MV/cm) | ＞5 | ＞5 |
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| 表面金属(TXRF)(/cm2) | ＜5E10 | ＜5E10 |
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| 表面の粗さ(Å) | ＜5 | ＜5 |
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| 穴、シリコン剥がれ | NA | NA |
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| EDGE EXCLUSION | 3mm(1.5mm) | 3mm(1.5mm) |
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