PLASUS EmiCon [PLASUS社（ドイツ）]
- PLASUS EmiConカタログ
(1,644KB) - PLASUS SpecLineカタログ(1,240KB)
特徴
プラズマを応用した装置において、プロセス制御はプロセスの信頼性と高品質を確保する為に不可欠です。OES（オプティカル発光分光）システムPLASUSS EmiConはプラズマアプリケーションを分析、最適化、そして制御する為に必要な機能をご提供致します。
リアルタイム プラズマ モニタリング
プロードバンド スプクトルに対応 (200nm ～850nm)
プラズマ プロセス コントロール
解析、評価に容易なオペレーション
原子、イオン、分子の広範囲に６０万種類に及ぶデータベース
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【プラズマ エミッション モニタ システム概念図】
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【データベース検索 周期表】
【プラズマ スペクトルの抽出、分析、比較】
アプリケーション例
リアクティブ スパッタリング装置
- 反応性ガスの微量制御を行い、遷移領域を用いた高速成膜の達成
プラズマ エッチング装置
- エッチング終端検出（ブロードバンド スペクトルに対応）
製品構成
| 標準製品構成 |
|---|
PLASUS EmiCon 1C （プラズマエミッションモニタ） |
| Standard Optical Fiber | |
|---|---|
| Optical Fiber PL-600-2-UV-VIS | Collimator Optics PL-25-12-UV-VIS |
Chamber View Port等の大気側より測定を行うFiber
|
Fiberの先端に装着し、光の増幅を行う
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| オプション | |
|---|---|
| In Vacuum Optical Fiber（Standard） PL-IV-OH00-KF40-1 |
In Vacuum Optical Fiber（90ﾟ version） PL-IVOH90-KF40-1 |
真空状態で使用可能なStandrd Fiber
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真空状態で使用可能で先端にアダプター（90ﾟ）を装着したタイプ
|
上記オプション及びシステムに最適なＦＡパソコンを含めたパッケージ販売にてユーザー様へご提供させて頂く事が可能です。
- メーカー紹介
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Plasus（ドイツ）
