お知らせ
半導体製造装置ウェハ搬送系検査装置「Smart Waferシステム」の販売開始
- 2006年2月27日
- ＩＴＸイー･グローバレッジ株式会社
ITX 株式会社（東京都千代田区、代表取締役社長：武居哲彦）の100%出資会社であるITX イー・グローバレッジ株式会社 （以下ITX-EG 、東京都目黒区、代表取締役社長：野村昌雄） は、InnerSense Ltd. （イスラエル、CEO Yigal Tomer） のマスター・ディストリビュータとして、同社が開発した半導体製造装置におけるウェハ搬送系用の検査システム 「Smart Waferシステム」を販売開始しました。
「Smart Waferシステム」は、半導体製造装置（ウェハプロセス）におけるウェハ搬送時に、 ウェハに与える振動及び水平度を革新的な手法で検査するシステムで、装置定期点検後の状態確認、 不具合発生時のトラブルシューティング、更に、定期的に運用する事により搬送系トラブルを未然に防止するなどの用途を対象とし、 従来実現できなかった搬送中や、真空下でのチャンバー内のウェハの状態把握を実現し、 最終的に、PM(Preventive Maintenance)頻度の低減、メカニカルトラブルシューティングにかかる時間の削減及び それら作業に関連するパーティクルレベル上昇の軽減、また、ウェハ破損およびテストウェハー使用枚数の削減を実現します。
「Smart Waferシステム」製品概要
この「Smart Waferシステム」では、電子回路をシリコンウェハーに搭載した「Smart Test Wafer」がその中心となっており、 この「Smart Test Wafer」を通常のテストウェハーと同様にワイヤレスで製造装置内を搬送させ、 その搬送中に「Smart Test Wafer」に加えられる加速度、振動、スクラッチ、衝撃、 およびユニット間の相対水平度を記録させます。記録したデータは、「Smart Waferシステム」に含まれるデータリーダーを介して PCにダウンロードし、付属のソフトウェア上でデータと装置の各工程とのタイミングを同期します。これにより、 異常データが発生した工程(装置ユニット)を端的に把握することを可能にします。 また、以前取得したデータとの比較により、ウェハ破損などの未然に、ウェハ搬送系可動部品の状態悪化などを把握することが可能になります。
また、標準的な異常なデータの形状やパターンは、ソフトウェアの「Failure Library」に含まれており、 トラブルシューティングに同ライブラリを参照し、異常の原因究明をサポートします。
尚、「Smart Waferシステム」は、日本に先駆けて販売開始された米国では、大手半導体メーカーにより採用されており、 定期的な装置状態の確認、およびトラブルシューティング用のツールとして使われております。
各社について
| InnerSense社について | |
| 事業内容： | InnerSense社は、2001年に設立し、半導体製造装置の革新的なモニタリングツールの開発を行っており、 現在の振動・水平度測定用「Smart Test Wafer」に加え、 2006年初旬には主に半導体製造におけるリソグラフ工程装置を対象とした温度測定用の製品をリリースする予定です。 |
| 社名： | InnerSense Ltd. |
| CEO： | Yigal Tomer |
| 本社： | 13 Hanassi Street, P.O. Box 4530 Jerusalem. ISRAEL |
| URL： | www.innersense-semi.com |
| ITX株式会社について | |
| 事業内容： | ライフサイエンス、ネットワーク＆テクノロジー、モバイル、ビジネスイノベーションの4分野で独創的な事業を立上げ、事業育成する「IT 事業創出会社」。2001年にナスダック・ジャパン市場（現ヘラクレス市場）に上場（コード：2725）。 |
| 社名： | ITX株式会社 |
| 代表取締役社長兼CEO： | 武居 哲彦 |
| 設立： | 2000年4月 |
| 資本金： | 204億56百万円 |
| 売上高(連結)： | 約3500億円(2005年3月末) |
| 連結対象会社数： | 55社(2005年9月末) |
| 本社： | 〒100-6014 東京都千代田区霞が関3-2-5 霞が関ビル14階 |
| 従業員数： | 78名（連結ベース1,708名）(2005 年9月末) |
| URL： | www.itx-corp.co.jp |
| ITXイー・グローバレッジ株式会社について | |
| 事業内容： | ITXグループ内で、ネットワーク、エレクトロニクス分野の中核を担うIT ソリューションプロバイダ。世界規模で事業の核となる先端技術を掘り出し、独自のソリューションを構築してバリューを創り出しています。 |
| 社名： | ITXイー・グローバレッジ株式会社 |
| 代表取締役社長： | 野村 昌雄 |
| 設立： | 1990年10月 |
| 資本金： | 5億55百万円 |
| 株主： | ITX株式会社 |
| 売上高： | 約118億円（2005年3月期） |
| 本社： | 〒153-0051 東京都目黒区上目黒2-1-1 中目黒GTタワー7F |
| 従業員数： | 単体84名、連結105名(2005年10月末現在) |
| URL： | www.e-globaledge.com |
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購入、販売に関するお問い合わせ先
ITXイー・グローバレッジ株式会社 オプト・半導体装置部
チーム1 営業担当：村田 / 福井
電話：03-6412-6032 FAX：03-6412-6016
※本プレスリリース記載の会社名、製品名等は其々各社の商標または登録商標です。
